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潔凈室無塵室空氣潔凈度等級測試

2015-01-20 10:07:11 admin
空氣潔凈度等級測試
C.1.1 空氣潔凈度等級的測試一般采用粒子計數器,采樣量應大于1L/ min。測試粒徑大于等于0.5μm粒子時,宜采用光散射粒子計數器;測試粒徑大于等于0.1的粒子時,宜采用大流量激光粒子計數器(采樣量每分鐘28.3L);測試粒徑小于0.1μm的超微粒子時,宜采用凝聚核激光粒子計數器。
C.1.2 潔凈度等級測試前,應先進行風速,風量、靜壓差、過濾器檢漏和圍護結構密閉性檢測。
C.1.3 采樣點確定
C.1.3.1 應下式計算最少采樣點
                                  (C.1.3)
式中——最少采樣點,四舍五入取整數;
        ——潔凈室(區)的面積。在水平單向流時,指與氣流方向垂直的流動空氣的截面積。以㎡計。
C.1.3.2 采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的面積內,并位于工作區高度。
C.1.4 每次采樣的最少采樣量
C.1.4.1 每個采樣點的每次采樣量(VS)應按下式計算:
                                  (C.1.4)
式中:——被測潔凈室(區)空氣潔凈度等級被測粒徑的允許限值(個/m3);
          20——在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度限值時,可檢測到的粒子數。
C.1.4.2 每個采樣點的采樣量至少為2L,采樣時間最少為1min,當潔凈室(區)僅有1個采樣點時,則在該點至少采樣3次。
    當Vs很大時,采樣時間會很長,可參照采用ISO14644-1附錄F中規定的順序采樣法。
C.1.5 對于單向流潔凈室,采樣口應對著氣流方向,對于非單向流潔凈室,采樣口宜向上。采樣速度宜接近室內氣流速度。
C.1.6 室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過3人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。
C.1.7 每個采樣次數為2次或2次以上的采樣點,應按式C.1.7計算平均粒子濃度。
                               (C.1.7)
式中:——采樣點i的平均粒子濃度,i可代表任何位置;
      ——每次采樣的粒子濃度;
      N——在采樣點i的采樣次數。
C.1.8 采樣點為1個時,應按式C.1.7計算該點平均粒子濃度。采樣點為10個或10個以上時,按式C.1.7計算各點的平均濃度后,再按式C.1.8計算潔凈室(區)總平均值。
                              (C.1.8)
式中: ——各采樣點平均值的總平均值;
      ——按式C.1.7計算的各個采樣點的平均值,既潔凈室(區)總平均值;
      m——采樣點的總數。
C.1.9 置信上限(UCL)的計算
C.1.9.1 當采樣點只有1個或多于9個時,不計算95%置信上限。
C.1.9.2 采樣點為1個以上10個以下時,根據式C.1.8計算出各采樣點平均值和總平均值后,還應按式C.1.9.1計算出總平均值的標準偏差(S)。
 
    (C.1.9-1)
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2計算出總平均值的95%置信上限(UCL)。
                         (C.1.9-2)
式中t——分布系數,見表B.1.9。
表C.1.9    95%置信上限(UCL)的t分布系數

采樣點數(m) 2 3 4 5 6 7~9
t 6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9
C.1.9.4   如果每個采樣點測得粒子濃度的平均值以及潔凈室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔凈度等級的濃度限值,則認為該潔凈室(區)已達到規定的空氣潔凈度等級。
    如果測試結果未能滿足規定的空氣潔凈度等級,可增加均勻分布的新采樣點進行測試,對包括新增采樣點數據在內的所有數據重新計算的結果,作為最終檢驗結果。
C.1.10 空氣潔凈度等級計算例
C.1.10.1 被測潔凈室面積(區)為1000m2,空氣潔凈度等級為ISO5級,規定受控粒子粒徑為0.3μm(D1)、0.5μm(D2)。根據測試結果確定在動態下是否符合規定的懸浮粒子允許濃度限值。
⑴ 規定的粒徑均在現行標準ISO5級粒徑范圍,并符合D2≥1.5D1的要求。
⑵ 計算最大允許懸浮粒子濃度
對≥0.3μm的粒子:
,取10200個/m3。
對≥0.5μm的粒子:
,取3520個/m3。
⑶ 按式(C.1.3)計算采樣點數量:
,取32
由于采樣點數大于10,不計算95%置信上限。
⑷ 采樣點每次采樣量(Vs),按式(B.1.4)計算

選用采樣量為28L/min的粒子計數器。這一選擇滿足:VS>2L、Cn.m>20個/m3的要求,其采樣時間≥1min。
⑸ 在每個采樣點僅作一次采樣(28L/min),測試得到的計數記錄如下:

采樣點 粒子數(≥0.3μm) 粒子數(≥0.5μm) 采樣點 粒子數(≥0.3μm) 粒子數(≥0.5μm)
1 265 58 17 68 25
2 66 48 18 58 35
3 195 18 19 202 15
4 125 28 20 222 0
5 134 18 21 212 8
6 165 16 22 178 9
7 172 8 23 158 10
8 74 9 24 142 12
9 105 7 25 118 13
10 115 38 26 116 0
11 135 17 27 128 2
12 168 16 28 108 3
13 85 15 29 98 4
14 95 12 30 138 6
15 188 11 31 148 8
16 162 0 32 118 9
⑹ 以測試數據,折算為每立方米的粒子數(Xi):
采樣點 Xi(≥0.3μm) Xi(≥0.5μm) 采樣點 Xi(≥0.3μm) Xi(≥0.5μm)
1 9464 2071 17 2428 893
2 2357 1714 18 2071 1250
3 6963 643 19 7213 536
4 4464 1000 20 7928 0
5 4785 643 21 7571 286
6 5892 571 22 6358 321
7 6142 286 23 5642 357
8 2643 321 24 5071 429
9 3750 250 25 4213 464
10 4107 1357 26 4142 0
11 4821 607 27 4571 71
12 5999 571 28 3857 107
13 3035 536 29 3500 143
14 3392 429 30 4928 214
15 6714 393 31 5285 286
16 5785 0 32 4214 321